1、前言

        在半導體器材設備行業和模塊化線路制作工藝中，涂料、晶圓、單片機芯片的檢驗圖片是必沒法少的關鍵環節。隨之半導體器材設備行業檢驗圖片技木的趨勢，字母源表SMU整合電極臺的控制系統結合早已經被多方面適用于涂料/很小電子元器材的電學特質認可中。字母源表SMU應有源測作用，也可以生產電流量-的電壓(I-V)特質直線，是半導體器材設備行業涂料、電子元器材電的性能分析方法測定的管理處；電極臺有手動操作時、半主動和全主動這三種，要根據檢驗圖片要求選擇設備配套的貨品能夠。在選擇時要求關注電極的質材相應針尖的直經與外形，電極質材差異，其電位差也重復；再者，電極尖剎車盤磨損和污染源也會對檢驗圖片沒想到可能會導致作用。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT接連提醒

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺與源表的鏈接比較常見有四種，一個利用同中基準面鏈接，另一類個利用三同中基準面鏈接。當自動測量小功率(nA、pA)時，應利用三同軸電話轉接接口和三同中基準面纜。在聯接源表護理中端試驗電路系統中，鑒于三同軸的護理層與內芯直接是等電勢差，不會起漏功率產生，能提升 小功率試驗控制精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣電阻；3內攔截層；4在期間層；5外攔截層；6外保護套）

圖：三同中軸線纜等效電路系統圖

  上圖如下圖所示為三同中心電力電纜等效電路原理圖，打出精致HI和Guard當中的電勢差可以說為0，而清除電力電纜個人的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系直流電源源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸接器與傳統兩芯接器有所為不一樣的，可一并接駁訊號、接地線和屏弊掉層，屏弊掉郊果好。和多芯線覽優于，三同水平線覽節構容易，信得過高；和兩芯同水平線覽優于，具備有較高的屏弊掉性能方面和小訊號的傳送力量。三同水平線覽的接原則安全使用了GUARD訊號，達到了屏弊掉功效，更不不利于小訊號的校正。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

運用杜邦線轉BNC母頭來進行拼接；

- 三同軸連接 -

適用三同軸轉移控制模塊進行連到。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

立即安全使用三同水平線采取銜接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將硬性的三同軸更改為高電壓專業級三同水平線；低壓三同軸線接線頭的擊穿電壓業務能力較為強烈，普賽斯食用的低壓三同軸線接線頭能否擊穿電壓3500V。

圖：左-直流高壓三同軸、右-平凡三同軸

HCPL 100大電流源表

大直流電精確測量時，單根電極允許值的直流電局限，直流電過大概率會使得燒針表現，干擾測試軟件報告，那么還要安全使用多電極串聯。

圖：多測試探針并接示圖

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面工業接入提醒

圖：異面參比電極相連示圖

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。